Polvere di allumina piastrinica per lucidatura di semiconduttori

La forma cristallina della polvere di allumina lucidante prodotta è esagonale, piatta e di forma tabulare, per questo è chiamata allumina piastrinica o allumina tabulare.

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La polvere di lucidatura di allumina calcinata a piastre è realizzata in polvere di allumina industriale di alta qualità come materia prima, e lavorata tramite uno speciale processo di produzione. La forma cristallina della polvere di lucidatura di allumina prodotta è esagonale piatta come una forma tabulare, quindi è chiamata allumina piastrinica o allumina tabulare.

Per i materiali semiconduttori come i wafer di silicio semiconduttore, l’applicazione di ossido di alluminio in piastre può ridurre i tempi di rettifica, migliorare notevolmente l’efficienza della rettifica, ridurre le perdite della rettificatrice, risparmiare sui costi di manodopera e di rettifica e aumentare la velocità di passaggio della rettifica.

Composizione chimica

Chimico Valore di garanzia Valore tipico
Al2O3 ≥99,0% 99,36%
SiO2 <0,2% 0,017%
Fe2O3 <0,1% 0,03%
Na2O <0,6% 0,35%

 

Proprietà fisiche

Materiale α-Al2O3
Colore Bianco
Peso specifico ≥3,9 g/cm3
Durezza di Mohs 9.0
Tipo D3(um) D50(uno) D94(intorno)
CA45 50,5-56,2 33-38,5 20,7-24,5
CA40 39-44,6 27.7-31.7 18-20
CA35 35,4-39,8 23,8-27,2 15-17
CA30 28.1-32.3 19.2-22.3 13.4-15.6
CA25 24.4-28.2 16.1-18.7 9.6-11.2
CA20 20.9-24.1 13.1-15.3 8.2-9.8
CA15 14.8-17.2 9.4-11 5,8-6,8
CA12 11.8-13.8 7.6-8.8 4.5-5.3
CA09 8,9-10,5 5,9-6,9 3,3-3,9
CA05 6,6-7,8 4.3-5.1 2,55-3,05
CA03 4,8-5,6 2.8-3.4 1,5-2,1

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